该晶圆打造厂坐落于豫东区域,重点工作加工85英寸半导体器件晶圆,日访问量焦化废水排出口量约800吨。考虑到工作加工方式中选择大批量氢氧化钠开展晶圆蚀刻,产生焦化废海里氟化物浓硫酸浓度敢达200-300mg/L,远超国家地区排出口要求(10mg/L一些)。
废渣化学物质及來源
污水主要存在八个部分:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高氧化还原电位氟化物(HF)、盐酸及小量天价属
药剂学自动化设备cnc精密机械加工(CMP)工业废水
:含微米级硅小粒、有机化学络合剂
装备洁净废水处理方法
:含异丙醇、氟化物等可挥发物
治理 过程过程
主要包括"化学上的石雕文化放置+混凝土石雕文化放置+程度过滤水"三阶段治理系統:
考试内容一级操作
:加药系统氯化钙和氢氧化物钙,型成氟化钙沉淀物,氟化物取除率达85%
二级考试进行处理
:增加PAC(缔合氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),去掉溶液态的废弃物
三级视频整理
:利用多导电介质滤水器和抗逆性炭过滤,有水出氟化物质量浓度安稳在8mg/L有以下
关键性机械还包括:pH自然缓解系统的、斜管积累池、板框压滤机厂家(淤泥脱水烘干)。
从而作用
工程项目自动运行三年期监测方案库数据库信息显示:
氟化物均密度:7.2mg/L(高于部委规范标准)
COD消除率:92%
淤泥水分含量率:≤65%
年利用氟化钙副產品约150吨,体现影视综合利用利用