该厂为8屏幕尺寸晶圆制造线匹配的超超纯水系统软件，定期存在含硅废水清理150吨。废水清理中虽无天价属，但硅含水量高易积灰，且电容率需高达18MΩ·cm方可循环。原本的清理工学院艺没办法实现新制定的《电子为了满足电子时代发展的需求，工业品水感染物的排放量标淮》（GB39731-2020）特备的排放量限制值。 化工废水化学物质特别 主要的被大气污染物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、顆粒硅（粒度0.1-1μm） 特出要 ：TOC<10μg/L，硼含磷量<5μg/L 水质检测性 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅单质形状非常复杂 工作生产技术过程 全新主要采用"梯级膜区分+电去阳离子"组合起来工艺设备： 微滤预除理 ：1μm工业陶瓷膜手机拦截大小粒硅，通量维护80LMH 化合物交換硅胶粘合剂 ：D201大孔环氧树脂选取性吸咐硅酸分子结构 两级RO体统 ：第1段收旧率60%，2段采取高脱硼膜元器件 EDI电去正离子 ：电流大小溶解度2A/m²，定期的还原残留铁离子 红外光谱臭氧消毒 ：254nm太阳光的紫外线的用药量40mJ/cm² 技巧特点 开发设计转用阻硅剂（设计胺类结合物），减轻膜被污染周期时间3倍 EDI方案革新流道来设计，硅祛除率升降至99.8% 网上硅阐述仪（检测的范畴0.1-500μg/L）做到精准性的管理 正常运行实效 经3、方在线检测： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼占比从8μg/L低于0.3μg/L 系统性回收分类处理率从原40%改善至68% 膜调整寿命提升至5年，年作业成本低减少35%